1.产品名称：油扩散泵
2.产品介绍：
油扩散真空泵是用来获得真空（10-2Pa-10-5Pa）的主要设备。它和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵等组成高真空抽气系统，可以获得10-2Pa-10-4Pa的工作真空度。如采用液氮等冷却装置，并加以烘烤可获得超真空（10-6Pa）。
3.产品应用：
真空镀膜，研发，冶金/真空炉，机械工程，溅射工艺。
4.产品特点：
（1）抽气能力大；
（2）抽速范围广；
5.外形尺寸：
DIP | 3 000 | 8 000 | 12 000 | 20 000 | 30 000 | 50 000 |
DN | 250 ISO-K | 400 ISO-K | 500 ISO-K | 630 ISO-F | 800 ISO-F | 1000 ISO-F |
DN1 | 63 ISO-K | 63 ISO-K | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
a | 240 (9.45) | 350 (13.78) | 420 (16.54) | 540 (21.26) | 600 (23.62) | 800 (31.5) |
a1 | 250.5 (9.86) | 375.5 (14.78) | 432 (17) | 496 (19.53) | 536 (21.10) | 636 (25.04) |
b | 443 (17.44) | 643 (25.31) | 775 (30.51) | 920 (36.22) | 1090 (42.91) | 1290 (50.79) |
b1 | 276 (10.87) | 373 (14.69) | 460 (18.11) | 540 (21.26) | 630 (24.8) | 730 (28.74) |
d | 290 (11.42) | 450 (17.72) | 550 (21.65) | 750 (29.53) | 920 (36.22) | 1120 (44.09) |
d1 | 261 (10.28) | 400 (15.75) | 50119.72) | 651 (25.63) | 800 (31.5) | 1000 (39.37) |
d2 | – | 405 (15.94) | 506 (19.92) | 636 (25.04) | 716 (28.19) | 916 (36.06) |
d3 | 278 (10.94) | 530 (20.87) | 630 (24.80) | 760 (29.92) | 840 (33.07) | 1040 (40.94) |
d | – | – | – | 720 (28.35) | 890 (35.04) | 1090 (42.91) |
d5 | – | – | – | 14 (0.55) | 14 (0.55) | 14 (0.55) |
孔数 | – | – | – | 20 | 24 | 32 |
h | 560 (22.05) | 785 (30.91) | 940 (37) | 1130 (44.49) | 1450 (57.09) | 1880 (74.02) |
h1 | 250 (9.84) | 400 (15.75) | 470 18.5) | 620 (24.41) | 870 (34.25) | 1275 (50.2) |
h2 | 68 (2.68) | 88 (3.46) | 92 (3.62) | 97 (3.82) | 102 (4.02) | 102 (4.02) |
h3 | 75 (2.95) | 102 (4.02) | 106 (4.17) | 110 (4.33) | 116 (4.57) | 116 (4.57) |
h4 | 45 (1.77) | 68 (2.68) | 68 (2.68) | 74 (2.91) | 70 (2.76) | 70 (2.76) |
a | 45 ° | 30 ° | 30 ° | 30 ° | 20 ° | 25 ° |
a1 | 20 ° | 30 ° | 30 ° | 30 ° | 30 ° | 45 ° |
a2 | – | – | – | – | – | 25 ° |
a3 | – | – | – | – | – | 15 ° |
6.技术数据
技术参数 | DIP 3000 | DIP 8000 | DIP 12000 | DIP 20000 | DIP 30000 | DIP 50000 | |
抽速 | L/S | 2200 | 4800 | 8900 | 16000 | 24500 | 41000 |
高真空法兰 | 250 ISO-K | 400 ISO-K | 500 ISO-K | 630 ISO-F | 800 ISO-F | 1000 ISO-F | |
前级法兰 | 63 ISO-K | 63 ISO-K | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K | |
最大前级耐压 | mbar | 6.0 x 10' | 6.0 x 10' | 6.0x10* | 6.0 x 101 | 6.0x10' | 6.0x10* |
加热功率 | kw | 2.4 | 4.8 | 7.2 | 12 | 18 | 24 |
预热时间 | mln | <25 | <25 | <25 | <25 | <30 | <30 |
重量 | kg | 29 | 70 | 102 | 172 | 296 | 560 |
高度 | mm | 560 | 785 | 940 | 1130 | 1450 | 1830 |
6.抽速曲线
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